光学轮廓仪

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      Veeco Wyko NT 3300型轮廓分析系统是一种非接触式光学轮廓仪，它利用两种技术来测量各种表面高度。相移干涉仪（PSI）可以测量光滑的表面和小的台阶，而垂直扫描干涉仪（VSI）可以测量粗糙的表面和高达几毫米高的台阶。